압전소자를 이용한 2축 정밀 스테이지의 적응제어

Adaptive control of the precise two axes stage using piezoelectric actuator
제목
압전소자를 이용한 2축 정밀 스테이지의 적응제어
제목 (타언어)
Adaptive control of the precise two axes stage using piezoelectric actuator
저자
Kim, Jun-sik
발행일
2012-10-26
학회명
한국정밀공학회 2012년 추계학술대회
개최지
광주과학기술원
개최국가
대한민국