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압전소자를 이용한 2축 정밀 스테이지의 적응제어
Adaptive control of the precise two axes stage using piezoelectric actuator
- 제목
- 압전소자를 이용한 2축 정밀 스테이지의 적응제어
- 제목 (타언어)
- Adaptive control of the precise two axes stage using piezoelectric actuator
- 저자
- Kim, Jun-sik
- 발행일
- 2012-10-26
- 학회명
- 한국정밀공학회 2012년 추계학술대회
- 개최지
- 광주과학기술원
- 개최국가
- 대한민국