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장비 구동부품 기인 Particle 평가를 위한 마모측정기의 개발에 관한 연구
A study of developing wear tester to measure and minimize particle levels in cleanroom
- 제목
- 장비 구동부품 기인 Particle 평가를 위한 마모측정기의 개발에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- A study of developing wear tester to measure and minimize particle levels in cleanroom
- 저자
- Lee, Jong Hwan
- 발행일
- 2012-10-30
- 학회명
- 한국산업경영시스템학회 추계학술대회
- 개최지
- 서울 홍은동 그랜드힐튼호텔
- 개최국가
- 대한민국