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실리콘웨이퍼의 습식식각 시 표면거칠기에 따른 전기비저항 변화

제목
실리콘웨이퍼의 습식식각 시 표면거칠기에 따른 전기비저항 변화
저자
Roh, Jae Seung
발행일
2014-11-28
학회명
2014년 한국재료학회 추계학술대회
개최지
대전컨벤션센터
개최국가
대한민국

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