상하부 전극 동시 패터닝 기술을 이용한 단일 패터닝 공정 기반 유연 캐패시터 제조 기술

초록

유연 캐패시터는 두 개의 전극 사이에 전기적 에너지를 저장할 수 있으며 동시에 유연성을 갖고 있는장치로 전자 회로의 중요한 구성요소이다. 이러한 캐패시터는 디스플레이 부품 등 다양한 분야로의 응용을 위해전극 패터닝이 필수적이며, 패터닝 공정으로는 포토리소그래피 기술이 주로 이용된다. 포토리소그래피 기술은기술 성숙도가 높다는 장점을 가지는 반면, 값비싼 공정 장비를 필요로 하고 환경에 유해하며 두 개의 전극을개별적으로 패터닝해야 하므로 공정비용이 높다는 단점을 갖는다. 본 연구에서는 접착력 제어 기반의 비광학적패터닝 기술을 이용하여 캐패시터의 상부전극과 하부전극을 동시에 패터닝하는 연구를 진행하였으며, 이를 기반으로 유연 캐패시터를 제작하고 외부응력 및 나노소재 첨가가 캐패시터의 특성에 미치는 영향을 연구하였다. 결과적으로 단일 공정 상⋅하부 전극 동시 패터닝 기술을 기반으로 캐패시터 제작 공정 수를 상당히 감소시킬수 있었으며, 무기계 나노소재 첨가를 통해 캐패시터의 특성을 향상시키고 다양한 응력에 유연성을 갖는 유연캐패시터를 제작할 수 있었다.

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